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中企成功研发99.9999%超纯铜,打破国外技术垄断

2026-09-02

近年来,铜作为一种广泛应用的金属,在电线和各种硬件中随处可见。但很多人并不知道,铜还是先进芯片运作的重要材料之一。国内某企业实现了6N级超高纯铜的量产,其纯度高达99.9999%,每吨铜的杂质仅限于1克。这项技术之前由国外主导,如今已成功实现国产化,顺利融入先进集成电路产业链中。

在行业中,金属的纯度用字母N来表示,N值越高,纯度越高。3N铜的纯度为99.9%(杂质1000ppm),4N铜为99.99%(杂质100ppm),5N铜可达到99.999%。而6N超高纯铜的杂质含量仅为1ppm,实际上是将杂质总量降低了1000倍。该企业在确保全元素杂质低于1ppm的同时,还对碱金属杂质进行了更严格的控制。此外,该公司还引入了辉光放电质谱设备,以达到ppb(十亿分之一)的检测水平,确保在大量铜原料中能够精准识别极微小的杂质。

超高纯铜的生产不仅需要优质的冶炼工艺,更需要一个完整的超纯化工业体系。只要是生产容器、设备零部件或空气中的尘埃,都可能导致污染。该企业还进一步研发了7N超高纯铜,其纯度达到99.99999%,一吨铜的杂质控制在0.1克,标志着一个新的技术进步。 球友会

与普通电线的铜材不同,芯片制造对杂质的控制极为严格。这是因为现代芯片的内部结构已微缩至纳米级,任何微小的杂质都会显著影响其性能。芯片内部布满层层金属互连线路和数以亿计的晶体管,这些组件通过铜实现高效连接。若杂质干扰了电阻率或者破坏了晶粒结构,可能导致器件在高温和长期通电的条件下出现故障。

此外,晶圆制造具有显著的放大效应,哪怕极微小的材料缺陷,经过大量芯片的放大后,都会降低整体的良品率。因此,随着制程的进步,对超高纯铜的要求愈加严格。

许多人可能误解,3纳米芯片的铜线直径就是3纳米。事实上,超高纯铜在芯片中通常作为靶材使用。6N超高纯铜经过加工,成为PVD(物理气相沉积)设备中的靶材,等离子体粒子会持续撞击靶材,将铜原子转移并均匀沉积到晶圆表面,最终形成芯片的铜种子层。 球友会

长久以来,6N和7N超高纯铜等半导体关键材料一直依赖进口,成为国内半导体产业的一大技术短板。而如今,超高纯铜的国产化成功为半导体材料的自主供应填补了一项重要空白。这即意味着,芯片产业的突破不仅依赖光刻机等先进设备,基础材料如超高纯铜也同样至关重要。只有通过各类基础材料的逐步突破,才能建立起完整自主的半导体产业体系。